SMC真空無桿氣缸安裝圖解

氣缸介紹：
閥與針閥一體化結(jié)構(gòu)使配管縮短為原來的1/4。
返回時(shí)一次性全部引入供氣壓力（清潔空氣/ N2）真空室與大氣會(huì)導(dǎo)致顆粒進(jìn)入室。
為了防止這種情況，緩慢引入初始空氣供應(yīng)和設(shè)置壓力，切換到主閥回路供應(yīng)全量。
(閥芯)座部分采用間隙隔膜，微粒子數(shù)量大幅降低。
伴隨主供氣初期供氣可進(jìn)行流量調(diào)整。
緩沖效果（平穩(wěn)啟動(dòng)，軟停止）僅在行程范圍內(nèi)的行程結(jié)束之前應(yīng)用如下表所示。
緩沖作用（平穩(wěn)啟動(dòng)，軟停止）不可用于中間停止或從中返回使用外部塞子的中間停止等
在考慮上述信息的情況下使用中間站時(shí)，請(qǐng)執(zhí)行措施以防止顆粒物產(chǎn)生并將操作壓力設(shè)定為不過0.3MPa。

連接方法：
由于氣缸可以安裝在真空中它有助于簡(jiǎn)化和減少傳輸系統(tǒng)的大小。
沒有微粒生成由于摩擦，自建不允許缸筒的外表面和滑臺(tái)的內(nèi)表面
從線性粒子生成導(dǎo)向裝置隨使用而減少的不銹鋼直線導(dǎo)軌和低微粒產(chǎn)生真空脂
采用擠出成型的特殊缸筒采用鋁材料。
沒有偏轉(zhuǎn)或接觸發(fā)生長(zhǎng)時(shí)間行程，因?yàn)闅飧资莿傂缘馗街诨睾突脽羝仟?dú)立支持的由一個(gè)線性指南。
微粒生成已經(jīng)減少了該行程通過減少結(jié)束使用a的影響正弦緩沖和通過停止中風(fēng)使用內(nèi)部塞子。
在垂直操作中使用時(shí)，防止發(fā)生工件因斷裂而掉落應(yīng)考慮磁耦合。該允許的負(fù)載質(zhì)量和zui大運(yùn)行壓力應(yīng)該如表中所示下面。

SMC真空無桿氣缸安裝圖解